箱式真空气氛炉设备组成

设备组成

1. 炉体炉膛：双层壳体，水冷 / 风冷降温；炉膛材料多为氧化铝纤维、聚轻刚玉；炉门 O 型圈水冷密封，手轮压紧，防止漏气。

2. **加热元件**

   - ≤1250℃：铁铬铝电阻丝

   - 1200‑1600℃：硅碳棒

   - 1600‑1800℃：硅钼棒

   - 1800℃以上：石墨加热体

3. **真空系统**：旋片机械泵（标配，极限‑0.1MPa）；高真空选配罗茨泵、分子泵。

4. **气路系统**：浮子流量计 / MFC 质量流量控制器、进气阀、排气阀、泄压安全阀；支持 N₂、Ar、H₂等气体通入。

5. **电控温控**：PID 程序温控仪，多段升温曲线，控温精度 ±1℃；带超温、断偶、开门断电、断水报警保护。

二、核心工艺流程

1. 装料，锁紧炉门，确认密封；

2. 抽真空 → 充入保护气，循环置换 2‑3 次，降低炉膛残氧；

3. 维持**微正压**，启动程序升温；

4. 升温‑保温工艺完成，停止加热；

5. **必须降温至 200℃以下，再破真空开门取样**，严禁高温开炉。