真空管式烧结炉整机五大组成

整机五大组成

1. **炉管 + 两端真空密封法兰（烧结核心）**

- 石英管：≤1200℃，可视，低温烧结；高温易软化、析硅污染粉体，**不推荐高温烧结**

- 99 高纯刚玉管（Al₂O₃）：1200~1700℃，耐锂盐、金属蒸气，无硅污染，锂电 / 陶瓷烧结选

- 法兰：KF 快拆不锈钢法兰，可选水冷法兰，保护氟胶 O 圈，防止高温老化漏气

2. **加热与保温系统**

- 电阻丝：≤1200℃

- 硅碳棒：1200~1400℃，间歇烧结

- 硅钼棒：1400~1700℃，适合长时间连续高温烧结

- 炉膛：氧化铝纤维保温，双层风冷炉壳，炉壳表面低温防烫

3. **真空机组**

- 低真空：机械泵，极限 10~100Pa，粉体脱气、普通陶瓷烧结

- 高真空：机械泵 + 分子泵，极限 10⁻³~10⁻⁴Pa，高纯金属、纳米粉体、低氧要求烧结

4. **气路系统**

进气、出气、压力表、MFC 质量流量计；支持 N₂、Ar 惰性气；**氢气还原必须定制防爆、尾气点火、氧含量联锁**

5. **程控温控系统**

PID 多段程序升温，30~50 段曲线可编程，控温精度 ±1℃，可记录升温保温曲线；可配上位机软件导出数据

4 种典型烧结工艺

1. **纯真空烧结**：直接抽真空，负压脱气，抑制氧化；钛合金、硬质合金、金属粉末烧结

2. **真空洗气 + 流动惰性气氛烧结**：抽真空→充 Ar/N₂→多次置换，降低管内氧含量，保持微正压流动；锂电正负极、荧光粉、陶瓷粉体

3. **还原气氛烧结**：洗气后通入 H₂，金属氧化物还原；**强制配套防爆、尾气处理**

4. **静态保压气氛烧结**：抽真空后充入固定压力保护气，密闭恒温烧结

关键选型参数（烧结优先看）

- 最高温度 & 连续工作温度：连续使用温度建议比最高温低 100~200℃，延长元件寿命

- **恒温区长度**：决定样品装载量与温场均匀性，烧结最重要指标

- 炉管内径：Φ30、Φ50、Φ60、Φ80、Φ100、Φ120、Φ150mm

- 真空等级：低真空（机械泵） / 高真空（分子泵机组）

- 升温速率：0~20℃/min；烧结推荐 3~10℃/min，过快样品易开裂

- 温场均匀度：常规 ±3℃；精密烧结要求 ±1~±2℃

- 温区：单温区、双温区、三温区；粉体动态烧结可选旋转炉管