可通气氛抽真空管式炉结构

结构

1. **炉管**

- 石英管：≤1200℃，透明，易观察样品；

- 刚玉（氧化铝）管：1400~1700℃，耐高温，适合硅钼棒高温炉；

- 两端**真空法兰 + O 型圈密封**，集成进气、出气、真空接口、压力表 / 真空计。

2. **炉膛保温**：氧化铝陶瓷纤维，保温好、升温快、蓄热小。

3. **加热元件**

- 1200℃：电阻丝；

- 1400℃：硅碳棒；

- 1600~1700℃：硅钼棒。

4. **温控系统**：PID 程序温控，多段升温曲线，控温精度 ±1℃，升温速率 0~20℃/min 可调。

5. **气路真空系统**

- 真空：机械泵（低真空，几十 Pa）；需要高真空搭配分子泵；

- 气路：质量流量计 MFC，多路供气，可混气；常用 Ar、N₂惰性气氛；部分型号支持 H₂、NH₃还原气氛（需防爆）。

工艺模式

1. **真空热处理**：直接抽真空，真空退火、脱气、真空烧结；

2. **洗气置换**：抽真空 → 充保护气 → 再抽真空，反复多次，把管内氧气降到极低；

3. **动态气氛**：持续通入气体，保持微正压流动气氛（CVD、氧化、还原）；

4. **静态气氛**：抽真空后充入固定压力气氛，密闭保温烧结。

常用参数区间

- 最高温：1200 /1400 /1600 /1700℃；

- 真空度：机械泵可达 10~100Pa；机械泵 + 分子泵可到 10⁻³~10⁻⁴Pa；

- 炉管规格：Φ30、Φ50、Φ60、Φ80、Φ100mm 等，加热区长度可定制；

- 气氛：惰性气体 N₂、Ar；可选还原性气体（氢气需定制防爆），**严禁空气 + 氢气混合高温**。