1400℃双温区真空气氛管式炉技术参数

技术参数

- 最高温度：**1400℃**；推荐长期连续使用：≤1300℃

- 加热元件：**硅碳棒**（1400℃主流，气氛环境稳定性好）

- 测温：**S 型铂铑热电偶**，双温区各一支独立测温

- 控温系统：**两套独立 PID 程序温控**，每区可设置 30~50 段升降温程序；控温精度 ±1℃；单区恒温均匀度 ±3~5℃

- 炉膛：高纯氧化铝多晶纤维真空成型炉膛，无石棉，双层炉壳 + 风冷，外壳低温，节能

- 炉管：**99 刚玉管（氧化铝管）**，Φ40/60/80/100mm 可选；>1200℃严禁石英管，石英管 1200℃以上会软化变形

- 密封：两端 KF 不锈钢法兰 + 高温氟橡胶密封圈（高温工况比硅胶圈耐用）

- 真空系统：标配 2XZ 旋片泵，极限真空约 - 0.095MPa；高真空选配分子泵机组

- 气氛：N₂、Ar 惰性气体；选配防爆组件后可使用 H₂还原气氛；多路进气、可升级 MFC 质量流量控制器精准配气

- 升温速率：0~20℃/min；推荐≤10℃/min，保护刚玉管与硅碳棒

- 电源：AC220V / 380V 可选，总功率约 5~8kW，取决于温区长度和管径

整机结构

1. 双段独立炉体（两个加热区，可分体滑套式，方便装卸炉管）

2. 刚玉炉管 + 两端 KF 密封法兰组件（进气、出气、抽真空、压力表、破空阀）

3. 双路独立温控仪表 / 触摸屏，可电脑上位机记录曲线

4. 气路模块：减压阀、浮子流量计、单向阀、管路

5. 真空机组、真空表 / 真空规、防倒吸保护

6. 安全保护模块：双区独立超温报警、断偶保护、漏电保护、压力超限保护

7. 选配：尾气冷凝吸附环保处理单元（做碳材料、前驱体热解