郑科探 KT-Z10002R 1000℃真空热台介绍

本热台为桌面式高温加热台。用于少量样品功能陶瓷、光学材料、碳复合材料、硬质合金、粉末冶金，高温退火、晶体生长、硅片退火等在高温条件下进行烧结处理，也可用于对样品高温真空环境的电信号测试。

：设备参数

一：真空腔体

1、腔体材质：304不锈钢

2、腔体上视窗尺寸：Ф70mm

3、腔体抽气口：KF16法兰（其余接口规格可转接）

4、腔体真空测量口：KF16 法兰（其余接口规格可转接）

5、腔体进气口：公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选

6、腔体冷却方式：腔体水冷

7、腔体水冷接口：6mm快拧

8、腔体正压：≤0.1MPa

9、腔体真空度：机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟）

二：样品台

1、样品台材质：高温绝缘陶瓷

2、样品台尺寸：55×55mm

3、样品台加热方式：碳化硅

4、样品台-视窗 距离：23mm

5、样品台测温传感器：PT100 S型热电偶

6、样品台温度：室温到1000℃

7、样品台升温速率：20℃/min 最大值

三：温控仪

1、温度显示：7寸人机界面

2、温控类型：标准 PID 温控 +自整定 30 段编程控温

3、温度分辨率：0.1℃

4、温度信号输入类型：S（可选PT100 热电阻 K B 型热电偶）

5、温控输出：直流线性电源加热

6、辅助功能：温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口