真空碱活化炉交付浙江领硅，硅材料活化处理新工艺落地

浙江领硅科技做的是多孔硅材料，生产工艺里有一步碱活化处理，之前在敞口容器里泡碱液，处理完还要清洗干燥，工序多而且污染大。他们想要一台真空碱活化炉，把碱活化和热处理放在真空炉里完成，减少工序，提高一致性。

设备配置

最后定的是500×400×400mm的标准炉膛，额定温度1400℃。因为是碱活化工艺，炉膛内会有碱性气氛，对炉衬和加热元件有腐蚀。所以我们把炉衬用的是特种耐碱耐火材料，加热元件外面加了保护管，防止碱性气体直接腐蚀加热元件。真空系统也做了防腐处理，泵和管路都用了不锈钢材质。

为什么要真空炉做碱活化

领硅的研发负责人跟我们解释，碱活化的原理是碱液跟硅表面反应，刻蚀出多孔结构。之前在常压下做，刻蚀程度不好控制，有时候深有时候浅，而且碱液废液处理麻烦。放在真空炉里做，温度、气氛、压力都可控，活化程度一致性好很多，而且碱挥发的废气可以收集处理，不会乱排。

工艺调试

一开始试做的时候，活化效果不均匀，有的地方刻蚀深有的地方浅。我们分析了一下，是炉内气氛流动不均匀，碱性蒸汽在炉膛里分布不均。后来我们改进了进气方式，从炉膛顶部进气，底部抽气，让气流从上到下均匀穿过料层。调整之后，活化效果就均匀了。这种细节是实际试做出来的，光看图纸想不到。

交付情况

设备出厂前，我们跟客户一起跑了几炉工艺，把活化曲线定下来了。现场安装调试用了四天，因为要改管路、调气氛分布，比普通真空炉多花了点时间。客户的工艺人员全程跟着，从装料到出产品，每一步都摸熟了。现在设备已经跑了三个月，活化效果稳定，良品率比之前敞口工艺提了不少。

做多孔硅、活性炭这类需要气相活化处理的材料，真空活化炉可以把活化和热处理合并在一台炉里完成。志远工业的活化炉可以根据工艺介质的腐蚀性选不同的炉衬和加热元件材质，有相关需求的企业可以把工艺参数发过来，我们帮你评估方案。