合肥微元素助力山东理工大学科研升级，设备安装调试圆满完成！

近日，合肥微元素实验室设备技术团队奔赴山东理工大学，顺利完成了双通道 ALD 管式炉系统 ALD-1200C-4H 的安装与调试工作。此次设备入驻山东理工大学，将为该校的科研工作注入新的活力，助力在材料科学、化学工程等多领域迈向新高度。

设备安装与调试过程

在山东理工大学的实验室中，合肥微元素的技术团队严格按照设备安装规范，逐步完成了设备的组装、气路连接、电路布线等工作。此次安装的双通道ALD管式炉系统具备多项先进功能，包括单温区预热炉、双温区反应炉、精密液体气相发生器、等离子射频电源、四通道气体流量控制系统、真空系统等配套设施组件，能够满足高精度、多功能的实验需求。

在调试过程中，技术团队重点对设备的单温区预热炉、双温区反应炉、精密液体气相发生器、等离子射频电源、四通道气体流量控制系统、真空系统等核心部件进行了细致的测试与校准。通过WYS-4Z 2.0版本软件，团队成功实现了对ALD蒸汽脉冲时间、气体流量等参数的精确控制，确保了设备在毫秒级脉冲时间下的高精度操作。此外，设备的四通道质子流量计控制系统也经过了严格的测试，确保了气体流量的精确控制，流量范围覆盖1~500 SCCM，重复精度达到±0.2%F.S。

设备技术亮点

1. 供气系统：设备配备了四通道质子流量计，能够精确控制四路气体的通入和混合，流量范围分别为1~100 SCCM、1~200 SCCM、1~200 SCCM和1~500 SCCM，重复精度高达±0.2%F.S，确保了气体流量的高精度控制。

2. ALD进气阀：设备配备了2个ALD脉冲电磁阀，最小可在10ms内完成阀门的开启或关闭，工作压力范围从真空至145PSI，确保了ALD工艺的高效进行。

3. 液体气相发生器：通过蠕动泵实现液体的精密推送，流量范围从0.007~7 ml/minute（可调），转速0.1-100r/min（可调），精度高达±1%，确保了液体气相生成的高精度控制。

4. 双温反应炉：设备采用双温区设计，最高工作温度可达1100℃，每个温区由独立的PID控制系统进行50段程序化控温，确保了加热过程的精确性和稳定性。

5. 单温预热炉：预热炉的最高工作温度可达1200℃，连续工作温度为1100℃，加热区长度为440mm，恒温区长度为150mm，适用于多种高温实验需求。

6. 真空系统：设备配备了JXB-12自动化真空系统，管内最高真空度可达5^-3Torr，确保了实验环境的高真空要求。

7. 等离子射频电源：输出功率范围为5~500W，射频频率为13.56 MHz，具备自动匹配功能，适用于等离子体辅助的ALD工艺。

安全与注意事项

在安装调试过程中，合肥微元素技术团队特别强调了设备的安全使用规范。团队向山东理工大学的实验人员详细讲解了设备的操作流程，并提醒实验人员在操作过程中需注意以下几点：

1. 气压控制：炉管内气压不可高于0.02MPa，气瓶必须安装减压阀，确保气体通入时的安全性。

2. 气体流量控制：气体流量应控制在200 SCCM以下，避免过高的气体流量对设备造成损害。

3. 易燃易爆气体使用：如需使用易燃易爆或有毒气体，实验人员需自行做好防护措施，确保实验安全。

专业团队，打造无忧服务

合肥微元素实验室设备技术团队凭借专业的技术知识和丰富的经验，在安装调试过程中展现出的水准。从设备的精准安装到各项参数的精细调试，团队成员们都一丝不苟，严格按照标准操作流程进行，确保每一个环节都无可挑剔。面对安装调试过程中可能出现的问题，技术团队凭借敏锐的洞察力和丰富的实践经验，迅速分析并解决，保障了整个安装调试工作的高效完成。

合作展望，共赴科研新程

此次设备安装调试的顺利完成，是合肥微元素与山东理工大学合作的一个重要里程碑。这不仅意味着山东理工大学在科研设备上实现了更新升级，为科研人员开展更深入、更前沿的研究提供了有力支持，也为双方未来进一步的合作奠定了坚实基础。未来，合肥微元素实验室设备技术团队将继续秉持专业、负责的态度，为山东理工大学提供全面的技术支持和售后服务，与山东理工大学携手共进，在科研创新的道路上不断探索，共同创造更加辉煌的科研成果。

期待在这款先进设备的助力下，山东理工大学能在科研领域取得更多突破，为推动行业发展贡献更多智慧和力量！

合肥微元素实验室设备技术团队此次山东之行圆满结束，标志着公司在科研设备领域的又一重要里程碑。未来，我们将继续致力于为全球科研工作者提供更先进、更可靠的实验设备，助力科学研究的不断进步。