真空热压烧结炉的日常应急措施

2024年11月22日 08:48 来源：上海晨华科技股份有限公司

　　真空热压烧结炉是一种用于高性能材料加工的先进设备，广泛应用于半导体、陶瓷和金属材料等领域。由于其复杂的结构和高温高压的工作环境，真空热压烧结炉在日常运行中可能会遇到各种紧急情况。为了确保设备的安全稳定运行，必须制定详细的应急措施。以下是针对真空热压烧结炉日常应急措施的描述：

　　1. 冷却水异常

　　- 确认加热电源已停止：当发现冷却水异常时，第一步应立即确认并停止加热电源，以防止设备过热。

　　- 采取应急措施保证水量：如果冷却水量不足，应尽快采取措施补充水量，保持真空状态。如果不能及时处理，则保持设备原状，等待自然冷却。

　　- 接通紧急用冷却水：在高温状态下(超过200℃)，如果冷却水停止，应立即接通紧急冷却水，防止水冷电极、换热器、真空室壳体及各泵被损坏。

　　2. 压缩空气停止

　　- 恢复压缩空气供应：当压缩空气异常报警时，应迅速到备用的压缩机房，恢复压缩空气供应。

　　- 终止真空让设备停下：如果压缩空气恢复需要较长时间，应终止真空，让设备停下来，避免设备在无压缩空气的情况下继续运行。

　　3. 停电

　　- 接通备用冷却水：停电时，首先检查是否断水。如果断水，应立即接通备用的冷却水，保证水源供应。

　　- 根据情况重新启动或保持原状：在非升温、加热和冷却阶段，如果电力能够尽快恢复，可以重新启动设备继续运行；如果需要较长时间恢复，则将设备保持原状。

　　- 自然冷却：如果在加热和冷却阶段停电，且短时间内无法恢复电力，应保持设备原状，让其自然冷却下来。

　　4. 加热电源掉电

　　- 检查水压和接地故障：当加热电源掉电时，首先检查水压是否低于0.15MPa以及是否存在接地故障。

　　- 处理真空放电问题：如果炉内压力为13.3-66.5Pa，可能是由于电介质击穿引起的放电。此时应检查水冷电极接头与加热器的连接是否牢固，并确保与反射屏绝缘良好。

　　5. 充气气体停止

　　- 确认气体管路是否堵塞：抽真空开始前，如果气体充入时间长或者无法充入，应先确认气体管路是否被堵塞。

　　- 检查电磁阀及充气阀动作：如气体管路没有问题，检查电磁阀及气体充气阀的动作是否正常。必要时，停止相关联的设备进行检查。

　　- 关闭气体系统：如果向真空室内充气不能停止，泄压阀动作时，要关闭气体供给阀及配管在内的所有气体系统。

　　- 检查是否有漏气：确认气体充气配管是否有漏气的地方，如有会影响制品质量。

　　6. 真空室压力恶化

　　- 停止设备进行检查：当真空排气时间比通常长时，应把设备停下来进行检查，通过压力上升测试或用氦气检漏来确认是漏气还是放气的影响。

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