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真空加热台顶升烤胶机恒温加热板
产品特点:
l 配置硬质阳极氧化铝耐腐蚀加热面板
l 加热面板均匀性好,温控精度高,不易变形,耐腐蚀,同时具有升温迅速,程序段控温,控温精准等优点
l 7寸全彩触摸屏,高级工业PLC控制,可实现自动升降,定时取片
l 可以设置顶针高度,实现无接触式烤胶
l 可实现在真空或氮气环境下的各种样品加热实验
真空加热台顶升烤胶机恒温加热板
技术参数:
1.加热面板尺寸:220*220mm(可支持最大8寸晶圆)
2.外形尺寸:长380X宽440X高440mm 真空腔体内部尺寸:长270*宽270*高170mm
3.加热面板材质:阳极氧化铝合金
4.控温范围:室温-160℃,温度分辨率:0.1℃ 温度均匀性:±1%℃ 控温精度:±0.1 ℃ (温度恒定时)
5.电动顶针调节高度: 0-30mm 顶升方式:自动或手动
6.支持定时升降,可储存6组程序配方,每组配方30个加热阶段
7.最大真空度:0.1MPa
9.电源输入:220V 1000W
10.支持 4 6 7 8 寸基片限位
实物图片如下:
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