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光刻胶由光引发剂、树脂、溶剂等基础组分组成,又被称为光致抗蚀剂,这是一种对光非常敏感的化合物。此外,光刻胶中还会添加光增感剂、光致产酸剂等成分来达到提高光引发效率、优化线路图形精密度的目的。在受到紫外光曝光后,它在显影液中的溶解度会发生变化。
Blue MUltra-Temp®惰性气体高温烤箱在工作温度下进行了压力测试,适用于所有惰性气体和不易燃的形成气体(4%的氢气,平衡的氮气)。
半导体光刻胶固化封装烘箱的优点
焊接和密封的内部腔室消除了烟雾向绝缘材料的迁移
防止产品氧化
当气流漏气时,向操作者发出警报,并关闭烤箱加热器,以尽量减少不良后果
当门打开时,门开关会关闭加热器和鼓风机,以确保操作人员的安全
适用于氩气,二氧化碳,氦气和氮气等惰性气体
露天重型镍铬丝加热元件
*的内壳/外壳腔室允许冷却液周围的空气在惰性气体内腔室周围循环
摄入鼓风机电动机
控制面板上有气体流量和腔室压力监控器及调节器
大容量水平气流系统
6英寸的矿棉绝缘材料
Blue M玻璃纤维大门密封圈设计
3/8英寸入口连接
排气口和风门
泄压阀
吹扫计时器
加热使能灯
型号IGF 8880和9980是水冷门
NFPA 86 B级烤箱
温度:室温+15℃-593℃(1099°F)
均匀度:设定值的±2%
控制精度:±0.5°C
分辨率:±0.1°C
额定电压下关闭排气装置空载运行
型号 | IGF-6680 | IGF-7780 | IGF-8880 | IGF-9980 |
内部容积 | 4.2 立方英尺 | 5.8 立方英尺 | 11.0 立方英尺 | 24.0 立方英尺 |
内部尺寸 宽x深x高 (厘米) | 20 x 18 x 20 (51x46x51) | 25 x 20 x 20 (64x51x51) | 38 x 20 x 25 (97x50x64) | 48 x 24 x 36 (122x61x91) |
外部尺寸 宽x深x高 (厘米) | 46 x 36 x 71 (117x91x180) | 51 x 38 x 71 (130x97x180) | 86 x 38 x 76 (218x97x193) | 96 x 43 x 81 (244x109x206) |
机器占地面积 | 12.5 平方英尺. | 14.5 平方英尺 | 24.0 平方英尺 | 32.2 平方英尺 |
电力负载 | ||||
208 VAC 3Ph 50/60 Hz 负载电流 | 12.0 kW 38 | 15.7 kW 47 | 18.8 kW 59 | 22.5 kW 72 |
240 VAC 3Ph 50/60 Hz 负载电流 | 16.0 kW 43 | 21.0 kW 54 | 25.0 kW 68 | 30.0 kW 82 |
480 VAC 3Ph 50/60 Hz 负载电流 | 16.0 kW 21 | 21.0 kW 27 | 25.0 kW 32 | 30.0 kW 41 |
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