手机版
化工仪器网手机版
化工仪器网小程序
官方微信
公众号：chem17
扫码关注视频号
东莞 CVD 管式炉厂家技术升级 自研智能温控系统优化材料沉积工艺
2026-07-28 15:06
来源：
东莞市志远工业设备有限公司
东莞 CVD 管式炉厂家技术升级 自研智能温控系统优化材料沉积工艺
为适配半导体、新材料实验室、固态电池研发企业高精度工艺需求，东莞市志远工业设备有限公司研发团队完成新一代真空 CVD 管式炉智能控制系统全面迭代升级，多项温控、气氛控制性能实现技术突破。本次系统升级核心优化串级 PID 多段程序控温逻辑，支持上百段自定义升温、保温、降温工艺曲线一键存储调用；同时优化气氛精准配比模块，多路气体独立流量闭环控制，流量控制精度 ±0.1sccm，适配薄膜沉积、粉体烧结、气相合成等精密实验工艺。
升级后的控制系统可适配志远全系列真空管式炉、气氛管式炉、小型实验室 CVD 沉积炉，兼顾高校科研小设备与中试量产大型管式炉使用需求。志远工业始终坚持自主核心技术研发，拒绝外购通用低端控制系统，从底层软硬件层面保障设备长期运行稳定性，助力国内新材料、半导体产业自主化发展。
免责声明
- 凡本网注明“来源：化工仪器网”的所有作品，均为浙江兴旺宝明通网络有限公司-化工仪器网合法拥有版权或有权使用的作品，未经本网授权不得转载、摘编或利用其他方式使用上述作品。已经本网授权使用作品的，应在授权范围内使用，并注明“来源：化工仪器网”。违反上述声明者，本网将追究其相关法律责任。
- 本网转载并注明自其他来源（非化工仪器网）的作品，目的在于传递更多信息，并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责，不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时，必须保留本网注明的作品第一来源，并自负版权等法律责任。
- 如涉及作品内容、版权等问题，请在作品发表之日起一周内与本网联系，否则视为放弃相关权利。
最新产品
采购中心
